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• 200 1_ |a 硅平面器件工艺基础 |A gui ping mian qi jian gong yi ji chu |f 《半导体器件制造技术丛书》编写组编

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 1971

• 215 __ |a 133页 |c 图 |d 19cm

• 225 2_ |a 半导体器件制造技术丛刊 |A Ban Dao Ti Qi Jian Zhi Zao Ji Shu Cong Kan |v 1

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• 711 02 |a 半导体器件制造技术丛书编写组 |A ban dao ti qi jian zhi zao ji shu cong shu bian xie zu |4 编

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