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• 005 20060719082900.0

• 010 __ |a 7-121-01981-7 |d CNY65.00

• 100 __ |a 20051226d2006 em y0chiy0121 ea

• 101 1_ |a chi |c eng

• 102 __ |a CN |b 110000

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微加工导论 |A Wei Jia Gong Dao Lun |d = Introducation to microfabrication |f (芬兰) 弗兰西拉(Sami Franssila)著 |g 陈迪 ... [等] 译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2006

• 215 __ |a 444页 |d 26cm

• 225 2_ |a 国外电子与通信教材系列 |A Guo Wai Dian Zi Yu Tong Xin Jiao Cai Xi Lie

• 306 __ |a 本书中文简体字翻译版由Wiley Publishing, Inc授权

• 314 __ |a 其他著者还有：刘景全, 朱军, 程秀兰

• 320 __ |a 有书目和索引

• 330 __ |a 本书从微加工角度出发，介绍了微加工的材料、基本工艺、结构、工艺集成、设备和制造等各个方面。

• 410 _0 |1 2001 |a 国外电子与通信教材系列

• 510 1_ |a Introducation to microfabrication |z eng

• 606 0_ |a 特种加工

• 690 __ |a TG66 |v 4

• 701 _1 |a 弗兰西拉, |A Fu Lan Xi La |b S. |g (Franssila, Sami) |4 著

• 702 _0 |a 陈迪 |A Chen Di |4 译

• 702 _0 |a 刘景全 |A Liu Jing Quan |4 译

• 702 _0 |a 朱军 |A Zhu Jun |4 译

• 702 _0 |a 程秀兰 |A Cheng Xiu Lan |4 译

• 801 _0 |a CN |b 江苏新华 |c 2005122

• 801 _2 |a CN |b AUSTL |c 20060719

• 905 __ |a AUSTL |d TG66/F496