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• 200 1_ |a 微机电系统工程基础 |A wei ji dian ji tong gong cheng ji chu |f 蒋永刚主编

• 210 __ |a 北京 |c 北京航空航天大学出版社 |d 2023

• 215 __ |a 149页 |c 图 |d 26cm

• 300 __ |a 高等学校通用教材

• 320 __ |a 有书目 (第148-149页)

• 330 __ |a 本书循序渐进, 体系严密, 概括了基本传感原理和制造方法, 讨论了当今MEMS实践中所必须掌握的电学和机械工程基本知识, 描述了静电、热、压阻、压电、磁敏感与执行方法, 及其相关的传感器与执行器, 详细介绍了微制造中常用的体微机械加工和表面微机械加工技术, 而器件制造方法则岔入到实例研究中, 讨论了与聚合物有关的。MEMS制造技术 根据这些敏感与执行方法以及制造方法, 选择了MEMS主要应用领域作为实例介绍, 包括微流控应用、用于扫描探针显微术的器件、光MEMS, 介绍了工艺集成问题和项目管理问题。

• 333 __ |a 本书适合于微机电系统 (MEMS)、微电子、机械工程、仪器仪表等专业的高年级本科生作为教材, 也适合于这些领域的研究生及科技人员参考

• 606 0_ |a 微机电系统 |A wei ji dian ji tong |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TH-39 |v 5

• 701 _0 |a 蒋永刚 |A jiang yong gang |4 主编

• 801 _0 |a CN |b XJT |c 20231104

• 905 __ |a AUSTL |d TH-39/J918