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• 200 10 |a 超大规模集成电路微细加工技术 |A chao da gui mo ji cheng dian lu wei xi jia gong ji shu |f (日)半导体研究振兴会编 |g 高存贞等译

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 1981.4

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• 702 _0 |a 高存贞等 |4 译

• 711 0_ |a 半导体研究振兴会 |e 日 |4 编

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