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• 010 __ |a 978-7-03-070385-9 |d CNY118.00

• 100 __ |a 20231120d2022 em y0chiy50 ea

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 钼靶材及其薄膜制备技术 |A mu ba cai ji qi bao mo zhi bei ji shu |d = Preparation technology of molybdenum target and Its thin film |f 谢敬佩 ... 等著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2022.07

• 215 __ |a x, 189页 |c 图 |d 24cm

• 304 __ |a 题名页题其余责任者: 陈艳芳, 赵海丽, 柳培, 王爱琴, 王文焱等

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书从钼粉的制备和靶材的热加工工艺入手, 研究了原材料及还原工艺对钼粉性能的影响和烧结钼的热变形行为, 分析了变形温度、应变速率、变形量等对其动态再结晶和静态再结晶的影响, 确定了钼靶材的制备工艺, 实现了钼靶材的微观组织调控。本书还研究了钼靶材的原始组织状态、单层钼薄膜的热处理、双层钼薄膜的结构调控和工艺优化, 探究其对金属钼薄膜结构和光电性能的影响, 从而制备出具有良好光电性能和高黏结性能的钼薄膜。

• 510 1_ |a Preparation technology of molybdenum target and Its thin film |z eng

• 606 0_ |a 钼 |A mu |x 金属薄膜 |x 制备

• 690 __ |a TB383 |v 5

• 701 _0 |a 谢敬佩 |A xie jing pei |4 著

• 801 _0 |a CN |b 辽批 |c 20231120

• 905 __ |a AUSTL |d TB383/X427