机读格式显示(MARC)

• 000 01397nam0 2200313 450

• 001 0000099618

• 005 20041220141100.0

• 010 __ |a 7-80144-606-2 |b 精装 |d CNY35.00

• 100 __ |a 20041120d ekmy0chiy0121 ea

• 101 1_ |a chi |c eng

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a a a 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 硅微机械传感器 |A gui wei ji xie chuan gan qi |f M.Elwenspoek, R. Wiegerink著 |g 陶家渠 ... [等] 译

• 210 __ |a 北京 |c 中国宇航出版社 |d 2003

• 215 __ |a 306页 |c 图 |d 21cm

• 306 __ |a 据原书2001年版译出。本书中文简体字版由著作权人授权中国宇航出版社独家出版发行。

• 312 __ |a 英文并列题名取自封面。

• 314 __ |a 责任者Elwenspoek规范汉译姓: 埃尔文斯波克; 责任者Wiegerink规范汉译姓: 威杰林克

• 320 __ |a 有书目 (第278-306页)

• 330 __ |a 本书详细描述了多种硅微机传感器的工作原理。包括了MEM介绍、微机械加工工艺、膜和梁的力学、机械变形换能、力和压力传感器、加速度和角速度传感器、流体传感器、谐振传感器、接口电路，以及MEMS封装，非常适合高等院校相关专业的师生和从事硅微机械传感器研究的工程技术人员参考。

• 510 1_ |a Mechanical microsensors |z eng

• 606 0_ |a 传感器 |A chuan gan qi |x 微型

• 690 __ |a TP212 |v 4

• 701 _1 |a 埃尔文斯波克, |A ai er wen si bo ke |b M. |g (Elwenspoek, Miko), |f 1948- |4 著

• 701 _1 |a 威杰林克, |A wei jie lin ke |b R. J. |g (Wiegerink, Remco J.), |f 1964- |4 著

• 702 _0 |a 陶家渠 |A tao jia qu |4 译

• 801 _0 |a CN |b AUSTL |c 20041220

• 905 __ |a AUSTL |d TP212/A295