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• 005 20060403081800.0

• 010 __ |a 7-121-00422-4 |d CNY59.00

• 100 __ |a 20041216d2004 ekmy0chiy0121 ea

• 101 1_ |a chi |c eng

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微系统设计 |A wei xi tong she ji |d = Microsystem design |f (美) Stephen D. Senturia著 |g 刘泽文, 王晓红, 黄庆安等译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2004

• 215 __ |a 453页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 国外电子与通信教材系列 |A guo wai dian zi yu tong xin jiao cai xi lie

• 306 __ |a 由Kluwer Academic Publishers授权电子出版社出版

• 314 __ |a 责任者Senturia规范汉泽姓: 森特乌里亚

• 320 __ |a 有书目 (第444-453页)

• 330 __ |a 本书介绍涉及微机电系统设计的方法、理论和技术, 涉及MEMS制作工艺和封装技术、MEMS器件的建模和模拟等，并辅助于实例研究。

• 410 _0 |1 2001 |a 国外电子与通信教材系列

• 510 1_ |a Microsystem design |z eng

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji |j 教材

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |j 教材

• 690 __ |a TM38 |v 4

• 690 __ |a TN4 |v 4

• 701 _1 |a 森特乌里亚, |A sen te wu li ya |b S. D. |g (Senturia, Stephen D.) |4 著

• 702 _0 |a 刘泽文 |A liu ze wen |4 译

• 702 _0 |a 王晓红 |A wang xiao hong |4 译

• 702 _0 |a 黄庆安 |A huang qing an |4 译

• 801 _0 |a CN |b 三新书业 |c 20041216

• 801 _2 |a CN |b AUSTL |c 20060403

• 905 __ |a AUSTL |d TN4/S795