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• 200 1_ |a 紫外固体激光微细加工技术 |A Zi Wai Gu Ti Ji Guang Wei Xi Jia Gong Ji Shu |f 齐立涛著

• 210 __ |a 哈尔滨 |c 哈尔滨工业大学出版社 |d 2020

• 215 __ |a 202页 |c 图 |d 21cm

• 320 __ |a 有书目 (第188-202页)

• 330 __ |a 本书介绍了紫外固体激光微细加工技术的理论、方法及应用。内容包括了紫外固体激光器、紫光激光微细加工系统及检测方法、紫外激光微细加工技术的应用、激光微细加工的波长优化、紫外固体激光微细加工单晶硅和碳化硅、激光加工安全防护及标准等。

• 333 __ |a 本书适用于激光微细加工领域的工程技术人员、科研人员

• 606 0_ |a 激光加工 |A Ji Guang Jia Gong

• 690 __ |a TG665 |v 5

• 701 _0 |a 齐立涛 |A Qi Litao |4 著

• 801 _0 |a CN |b AUSTL |c 20250623

• 905 __ |a AUSTL |d TG665/Q493