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• 010 __ |a 978-7-111-40657-0 |d CNY69.00

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• 200 1_ |a 微机电系统基础 |A Wei Ji Dian Xi Tong Ji Chu |d = Foundations of MEMS |f (美) Chang Liu著 |g 黄庆安译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2013.2

• 215 __ |a 397页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 国外电子电气经典教材系列 |A Guo Wai Dian Zi Dian Qi Jing Dian Jiao Cai Xi Lie

• 305 __ |a 本书据Pearson Education 2012年英文版第2版译出

• 306 __ |a 本书经Pearson Education授权出版

• 314 __ |a 责任者汉译名取自在版编目: 刘昶

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书全面论述了微机电系统(MEMS)的基础知识,涵盖了MEMS技术的主要方面,同是引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文,为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提练了四个典型的传感器实例:惯性传感器、压力传感器、流量传感器和触觉传感器,并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法。

• 410 _0 |1 2001 |a 国外电子电气经典教材系列

• 500 10 |a Foundations of MEMS |A Foundations Of Mems |m Chinese

• 606 0_ |a 微电机 |A Wei Dian Ji |j 教材

• 690 __ |a TM38 |v 5

• 701 _0 |a 刘昶 |A Liu Chang |g (Liu, Chang) |4 著

• 702 _0 |a 黄庆安 |A Huang Qing An |4 译

• 801 _0 |a CN |b 安徽新华

• 905 __ |a AUSTL |d TM38/L211