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• 010 __ |a 978-7-03-051330-4 |b 精装 |d CNY128.00

• 099 __ |a CAL 012017018732

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• 200 1_ |a 微电子机械微波通讯信号检测集成系统 |A Wei Dian Zi Ji Xie Wei Bo Tong Xun Xin Hao Jian Ce Ji Cheng Xi Tong |f 廖小平 ... [等] 著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2016

• 215 __ |a xi, 294页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 半导体科学与技术丛书 |A Ban Dao Ti Ke Xue Yu Ji Shu Cong Shu

• 304 __ |a 题名页题其他责任者: 张志强, 易真翔, 闫浩

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书共分为12章, 从第1章共性的设计理论和实现方法出发, 对MEMS微波器件进行了一系列设计、实验和系统级s参数模型的研究。这些器件包括: 第2章的一分为二微波功分器, 第3章的间接加热热电式功率传感器, 第4章的直接加热热电式功率传感器, 第5章的电容式功率传感器, 第6章的电容式和热电式级联功率传感器, 以及集成MEMS系统, 第7章的在线电容耦合式微波功率检测器, 第8章的在线定向耦合式毫米波功率检测器, 第9章微波相位检测器和第10章微波频率检测器, 第11章分别对微波功率、相位和频率检测器进行了封装研究; 最后, 第12章进行了总结和展望。由于集成的MEMS相位检测器和集成的MEMS频率检测器研究都是基于MEMS微波功率传感器技术, 因此, 本书用较大篇幅来诠释MEMS微波功率传感器及其集成的微波功率检测器的研究。

• 410 _0 |1 2001 |a 半导体科学与技术丛书

• 606 0_ |a 微电子元件 |A Wei Dian Zi Yuan Jian |x 信号检测

• 690 __ |a TN4 |v 5

• 701 _0 |a 廖小平 |A Liao Xiao Ping |4 著

• 701 _0 |a 张志强 |A Zhang Zhi Qiang |4 著

• 701 _0 |a 易真翔 |A Yi Zhen Xiang |4 著

• 801 _0 |a CN |b NMU |c 20170303

• 905 __ |a AUSTL |d TN4/L887