机读格式显示(MARC)

• 000 01234nam0 2200277 450

• 001 0000377562

• 005 20210918094700.0

• 010 __ |a 978-7-04-054302-5 |b 精装 |d CNY129.00

• 100 __ |a 20201102d2020 em y0chiy50 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a ak a 001yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微纳米加工技术及其应用 |A wei na mi jia gong ji shu ji qi ying yong |d = Micro-nanofabrication technologies and applications |f 崔铮著 |z eng

• 205 __ |a 第4版

• 210 __ |a 北京 |c 高等教育出版社 |d 2020

• 215 __ |a 549页 |c 图 |d 25cm

• 314 __ |a 崔铮, 东南大学 (原南京工学院) 本科毕业 (1981年), 并获该校硕士 (1984年) 和博士 (1988年) 学位。目前担任中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所印刷电子学研究部主任。

• 320 __ |a 有书目和索引

• 330 __ |a 本书集作者多年来的实践经验与研究成果, 综合介绍微纳米加工技术的基础, 包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、扫描探针加工技术、微纳米尺度的复制技术、各种沉积法与刻蚀法图形转移技术、间接纳米加工技术与自组装纳米加工技术等。

• 510 1_ |a Micro-nanofabrication technologies and applications |z eng

• 606 0_ |a 纳米材料 |A na mi cai liao |x 加工

• 690 __ |a TB383 |v 5

• 701 _0 |a 崔铮 |A cui zheng |4 著

• 801 _0 |a CN |b AUSTL |c 20210918

• 905 __ |a AUSTL |d TB383/C976D