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• 005 20041221142400.0

• 010 __ |a 7-03-010565-6 |b 精装 |d CNY78.00

• 092 __ |b X90-S05-0042

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• 102 __ |a CN |b 110000

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微传感器与微执行器全书 |A wei gan qi yu wei zhi xing qi quan shu |d = Micromachined Transducers Sourcebook |f (美) 格雷戈里 T. A.科瓦奇著 |g 张文栋等译 |e ng

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2003

• 215 __ |a 29, 673页 |c 图 |d 24cm

• 320 __ |a 有书目和索引

• 330 __ |a 本书共分九章, 涉及了MEMS技术的所有研究领域, 畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理, 并在此基础上对典型器件和系统的设计与工艺进行了详细的介绍。

• 510 1_ |a Micromachined Transducers Sourcebook |z eng

• 606 0_ |a 传感器 |A chuan gan qi |x 微型

• 606 0_ |a 执行器 |A zhi xing qi |x 微型

• 690 __ |a TP212 |v 4

• 690 __ |a TH86 |v 4

• 701 _1 |a 科瓦克斯, |A ke wa ke si |b G. T. A. |g (Kovacs, Gregory T. A.) |4 著

• 702 _0 |a 张文栋 |A zhang wen dong |4 译

• 801 _0 |a CN |b 湖北三新 |c 20041122

• 801 _2 |a CN |b AUSTL |c 20041221

• 905 __ |a AUSTL |d TP212/L852