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• 000 02499nam 2200385 450

• 001 0000491830

• 005 20241211170700.0

• 010 __ |a 978-7-5680-9301-9 |d CNY49.80

• 100 __ |a 20240104d2024 em y0chiy50 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 420000

• 105 __ |a ak a 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微纳制造科学与技术 |A wei na zhi zao ke xue yu ji shu |e 从基本原理到工程应用 |f 陈蓉 ... [等] 编著

• 210 __ |a 武汉 |c 华中科技大学出版社 |d 2024

• 215 __ |a 228页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 21世纪高等学校机械设计制造及其自动化专业系列教材 |A 21 shi ji gao deng xue xiao ji xie she ji zhi zao ji qi zi dong hua zhuan ye xi lie jiao cai

• 225 2_ |a 华中科技大学“双一流”建设机械工程学科系列教材 |A hua zhong ke ji da xue “shuang yi liu ”jian she ji xie gong cheng xue ke xi lie jiao cai

• 300 __ |a 华中科技大学校级“十四五”本科规划教材 21世纪机械类教材

• 304 __ |a 题名页题: 陈蓉, 单斌, 曹坤, 刘潇编著

• 312 __ |a 英文并列题名取自封面

• 314 __ |a 陈蓉, 华中科技大学机械科学与工程学院教授、博士生导师, 华中科技大学机械科学与工程学院副院长。国家级创新领军人才、中国工程院中国工程前沿杰出青年学者。主要研究方向为原子层沉积原理方法与工艺装备。单斌, 华中科技大学材料科学与工程学院教授、博士生导师, 兼任中国科学院宁波材料技术与工程研究所客座研究员。主要研究方向是计算材料学、先进催化与原子层沉积的跨尺度模拟, 以及人工智能在材料中的应用。曹坤, 华中科技大学机械科学与工程学院副教授, 博士生导师。主要研究方向为微纳制造领域, 选择性原子层沉积原理、方法与装备等, 应用于集成电路、光通讯光芯片关键器件结构制造。

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书主要介绍了微纳制造科学与技术的基本理论、技术方法及工程应用, 分为7章。第1章简要介绍微纳制造科学与技术的定义、重要发展阶段、主要研究方法及其新兴发展趋势等; 第2章介绍微纳尺度的物理化学原理; 第3章介绍丰富多彩的微纳材料和结构; 第4章介绍多种多样的微纳尺度加工方法; 第5章讲述各种微纳尺度的表征技术; 第6章和第7章介绍微纳制造的相关应用, 涵盖了微电子、物联网、航空航天、光电显示、交通运输、医疗健康等诸多领域。

• 410 _0 |1 2001 |a 21世纪高等学校机械设计制造及其自动化专业系列教材

• 410 _0 |1 2001 |a 华中科技大学“双一流”建设机械工程学科系列教材

• 510 1_ |a Micro/nano manufacturing science and technology |e from fundamental principles to engineering applications |z eng

• 517 0_ |a 从基本原理到工程应用

• 606 0_ |a 纳米技术 |A na mi ji shu

• 690 __ |a TB383 |v 5

• 701 _0 |a 陈蓉 |A chen rong |4 编著

• 701 _0 |a 单斌 |A shan bin |4 编著

• 701 _0 |a 曹坤 |A cao kun |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 湖北三新 |c 20240104

• 905 __ |a AUSTL |d TB383/C686