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• 000 01070nam0 2200265 450

• 001 0000170393

• 005 20070913082100.0

• 010 __ |a 7-111-20065-9 |d CNY38.00

• 100 __ |a 20070804d2007 ekmy0chiy0121 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a ak a 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 气相沉积应用技术 |A Qi Xiang Chen Ji Ying Yong Ji Shu |f 王福贞, 马文存编著

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2007.1

• 215 __ |a 411页 |c 图 |d 24cm

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书全书分两篇, 第一篇全面阐述了化学气相沉积、物理气相沉积、等离子体增强化学气相沉积的技术基础、技术原理、新的沉积技术、工艺过程、设备配套、膜层质量检测和分析; 第二篇介绍了气相沉积技术在工模具硬质涂层、防护涂层、光学薄膜、建筑镀膜玻璃、太阳能利用、集成电路制造、住处存储、显示器件、饰品装饰、塑料金属化、柔性基材的卷绕薄膜产品等方面的应用。

• 606 0_ |a 气机沉积 |x 基本知识

• 690 __ |a TF111.34 |v 4

• 701 _0 |a 王福贞 |A Wang Fu Zhen |4 编著

• 701 _0 |a 马文存 |A Ma Wen Cun |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 三新书业 |c 20070804

• 801 _2 |a CN |b AUSTL |c 20070913

• 905 __ |a AUSTL |d TF111.34/W339