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- 000 01087nam0 2200301 450
- 010 __ |a 978-7-118-08144-2 |d CNY188.00
- 100 __ |a 20130527d2013 em y0chiy50 ea
- 200 1_ |a 薄膜材料科学 |A bao mo cai liao ke xue |d = Materials science of thin films |f (美) Milton Ohring著 |g 刘卫国 ... [等] 译 |z eng
- 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 2013.02
- 215 __ |a XV, 484页 |c 图 |d 26cm
- 300 __ |a 装备科技译著出版基金 西安工业大学专著出版基金资助
- 306 __ |a 由ELSEVIER INC授权
- 330 __ |a 本书分12章, 主要包括: 材料科学基础、真空科学与技术、薄膜热蒸发过程、薄膜制备的等离子体与离子束工艺、化学气相沉积、基底表现与薄膜成核、外延生长、薄膜结构等内容。
- 606 0_ |a 薄膜 |A bao mo |x 工程材料
- 701 _1 |a 奥林 |A ao lin |g (Ohring, Milton) |4 著
- 702 _0 |a 刘卫国 |A liu wei guo |4 译
- 801 _0 |a CN |b SD |c 20131122
- 905 __ |a AUSTL |d TB383/A479