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• 200 1_ |a 微机电系统设计与制造 |A Wei Ji Dian Xi Tong She Ji Yu Zhi Zao |f 刘晓明, 朱钟淦编著

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 2006

• 215 __ |a 371页 |c 图 |d 23cm

• 225 2_ |a 研究生系列规划教材 |A Yan Jiu Sheng Xi Lie Gui Hua Jiao Cai

• 300 __ |a 电子科技大学研究生系列教材建设项目

• 320 __ |a 有书目 (第369-371页)

• 330 __ |a 本书概要介绍MEMS的设计与制造，全书共分7章，内容包括：MEMS的概论，MEMS的设计，集成电路 (IC) 基本制造技术，MEMS的制造技术，微传感器，微执行器以及MEMS的应用及检测技术。

• 410 _0 |1 2001 |a 研究生系列规划教材

• 510 1_ |a MEMS Design and manufacture |z eng

• 606 0_ |a 微电机 |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TM38 |v 4

• 690 __ |a TH-39 |v 4

• 701 _0 |a 刘晓明 |A Liu Xiao Ming |4 编著

• 701 _0 |a 朱钟淦 |A Zhu Zhong Han |4 编著

• 801 _0 |a CN |b AUSTL |c 20061123

• 905 __ |a AUSTL |d TH-39/L884