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• 200 1_ |a 高k栅介质材料与器件集成 |A gao k shan jie zhi cai liao yu qi jian ji cheng |f 何刚主编

• 210 __ |a 北京 |c 清华大学出版社 |d 2023

• 215 __ |a 272页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 面向新工科的材料类基础教材丛书 |A mian xiang xin gong ke de cai liao lei ji chu jiao cai cong shu

• 225 2_ |a 清华大学出版社“十四五”普通高等教育本科规划教材 |A qing hua da xue chu ban she “ shi si wu ” pu tong gao deng jiao yu ben ke gui hua jiao cai

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书共10章，包括了集成电路的发展趋势及后摩尔时代的器件挑战，栅介质材料的基本概念及物理知识储备，栅介质材料的基本制备技术及表征方法；着重介绍了栅介质材料在不同器件中的集成应用，如高k与金属栅、场效应晶体管器件、薄膜晶体管器件、存储器件及神经形态器件等。本书包含栅介质材料的基本制备技术，同时突出了栅介质材料在器件应用中的先进性和前沿性，反映了后摩尔时代器件集成的最新研究进展。

• 333 __ |a 本书适用于材料及微电子集成相关专业的高年级本科生、研究生及从事材料与器件集成行业的科研人员

• 410 _0 |1 2001 |a 面向新工科的材料类基础教材丛书

• 410 _0 |1 2001 |a 清华大学出版社“十四五”普通高等教育本科规划教材

• 606 0_ |a 栅介质 |A shan jie zhi |x 介质材料 |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TN303 |v 5

• 701 _0 |a 何刚 |A he gang |4 主编

• 801 _0 |a CN |b 淮南新华书店有限公司 |c 20251106

• 905 __ |a AUSTL |d TN303/H341