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• 200 1_ |a 集成电路与光刻机 |A ji cheng dian lu yu guang ke ji |d = Integrated circuit and lithographic tool |f 王向朝, 戴凤钊等著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2020

• 215 __ |a 133页 |c 彩图 |d 24cm

• 320 __ |a 有书目 (第121-133页)

• 330 __ |a 本书介绍了集成电路与光刻机的发展历程。重点介绍了光刻机整机、分系统与曝光光源的主要功能、基本结构、工作原理、关键技术等。简要介绍了计算光刻技术。最后介绍了光刻机成像质量的提升与光刻机整机、分系统的技术进步。

• 510 1_ |a Integrated circuit and lithographic tool |z eng

• 606 0_ |a 集成电路 |A ji cheng dian lu

• 606 0_ |a 光刻设备 |A guang ke she bei

• 690 __ |a TN4 |v 5

• 690 __ |a TN305.7 |v 5

• 701 _0 |a 王向朝 |A wang xiang chao |4 著

• 701 _0 |a 戴凤钊 |A dai feng zhao |4 著

• 801 _0 |a CN |b NMU |c 20200907

• 905 __ |a AUSTL |d TN4/W874